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電子及半導體工業(yè)對超純水水質有什么要求？
發(fā)布時間：
2019-07-23
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在電子工業(yè)的生產工藝中，相當多的工序要進行化學處理，而電子產品的清洗和化學藥劑的制備都直接或間接地要利用到純水或超純水。隨著電子工業(yè)的發(fā)展，尤其是以超大規(guī)模集成電路為代表的半導體產業(yè)的發(fā)展，對純水的水質提出了更高的要求，下表所列為美國材料測試協(xié)會（ASTM）根據半導體特性而制定的超純水水質要求。
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